Chips von X-Fab

Die Schaltkreise des Thüringer Unternehmens sind weltweit gefragt


Erfurt. An ihrem Arbeitsplatz ist Nathalie Frohn so etwas wie die Goldmarie. Zwar muss sie kein Brot aus dem Backofen retten und keine Kissen ausschütteln. Aber für einen gewissen „Goldregen“ ist sie schon zuständig.

Die Prozess-Ingenieurin bringt beim Hersteller ­X-Fab in Thüringen auf Mikrochips elektrische Kontakte aus Gold auf. „Das Edelmetall leitet sehr gut“, sagt sie und schiebt einen Probe-Wafer unters Mikroskop, den sie mit Gold beschichtet hat. „Wir prüfen nun: Ist die Schicht eben, gleichmäßig stark, gibt es Fehlstellen?“ Sind alle Parameter wie gewünscht, geht die Produktion los.

Eine Vielzahl verschiedener Typen

Nathalie Frohn und ihre 650 Kollegen von X-Fab stellen Spezial-Chips her, unter anderem sogenannte MEMS. „Das sind Chips, die Elektronik und Mechanik vereinen“, erklärt ihr Kollege Volker Götz: „Die braucht man zum Beispiel mehr und mehr im Auto.“ Dort überwachen sie den Reifendruck, kümmern sich um die Motorsteuerung oder lösen den Airbag aus.

Auch Medizintechnik und Maschinenbau, Tablets und Smartphones benötigen die Wunderdinger. Die Nachfrage wächst. Im Sommer verließ der milliardste MEMS-Chip die Fabrik. „Wir liefern in fast alle Branchen“, berichtet Dieter Ullmann, der Produktionsleiter des Werks. „Und das weltweit.“ Die Thüringer fertigen eine Vielzahl von verschiedenen Chips, manche bereits seit 15 Jahren.

Neue Variante hält 750 Volt aus

Bei der Technik haben sie die Nase vorn. Wie etwa am Arbeitsplatz von Nathalie Frohn. Die Gold-Kontakte bringt nämlich ein sogenannter Sputterer auf. Das nagelneue Hightech-Gerät zerstäubt das Gold mit energiereichen Ionen-Strahlen, sodass es sich als Film über die Kontaktstellen des Wafers legt. Der übrige Wafer ist durch einen Spezial-Lack vor einer Goldablagerung geschützt.

„Den Fertigungskomplex haben wir in nur viereinhalb Monaten gebaut und in Betrieb genommen“, berichtet Produktionsleiter Ullmann. Er ermöglicht X-Fab, das Spektrum der Produkte zu erweitern. Zum Beispiel mit medizinischen MEMS-Chips, die den Körper mit Arzneimitteln versorgen.

In den nächsten drei Jahren wollen die Thüringer Spezialisten ihre MEMS-Fertigung ausbauen. Dafür ist kürzlich ein rund 40 Millionen Euro schweres Investitionsprogramm angelaufen, durch das bis zu 80 neue Arbeitsplätze entstehen können.

Eine weitere Neuheit, wenn auch keine MEMS, sind Hochvolt-Chips, die eine Spannung von 750 Volt aushalten. Für deren Herstellung macht der Chip-Spezialist gerade sein Dresdner Werk (350 Mitarbeiter) fit. Zudem hat die Firma jüngst einen MEMS-Spezialisten in Itzehoe übernommen. Beste Voraussetzungen also, nicht nur Chips, sondern auch die Bilanzen zu vergolden …

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